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Reinraumroboter-Lösungen für die Halbleiterfertigung

			
			
KUKA Technologien und Roboter für den Reinraum erfüllen die hohen Anforderungen an Reinheit, Sauberkeit und Funktionalität in der Halbleiterproduktion. Sie vereinen extreme Beweglichkeit, erstklassige Qualität und höchste Präzision auch in kürzester Zeit.

			
			
			
				

	




			
		

	

	




    
    
	
 Konzipiert für die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie: Reinraum und Sicherheit sind bei KUKA gro? geschrieben.

	
	
Speziell zu dem Thema Reinraum bietet KUKA partikel- und emissionsarme Roboter, Cobots und Plattformen für die Herstellung und das sichere Handling von hochsensibler Mikroelektronik wie Wafern. Auch unsere eigene Produktion erfolgt unter diesen strengen Reinraum-Bedingungen und erfüllen h?chste Qualit?t.
Zusammen mit Systempartnern liefert KUKA zukunftsf?hige Industrie 4.0-L?sungen für die Halbleiterindustrie unter den Ansprüchen der Vernetzbarkeit und Fertigungsflexibilisierung durch perfekt abgestimmte Hardware und Software.





	
	
	
	
	
	
	

	

	
	

		

			
Mensch und Roboter in hochreiner Produktionsumgebung: Hochautomatisierte Halbleiterfabrik der Zukunft.

		

	

	

	

		
		

			
			
			


	
	
		
    
    


	
	

	

		
	





			
			

			
			

				

					Sauberer als im Operationssaal:  Massenproduktion von Halbleiter-Chips in einer Reinraumumgebung bis zu Kategorie 1 bei Infineon GmbH.
				

			

			
		

	





	
	
	
Robotertechnik für die Halbleiter-Produktion aus einer Hand

	
	
	

		
    
			
			
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    Reinraum-Robotik
    
				
    
					
    Reinraumroboter und (mobile) Cobots mit gro?er Reinraumklassifizierung z.B. dank innenliegenden, gekapselten Führungen und Leitungen sowie integrierter Antriebstechnik 
    

     
    
					
				
    
				
			
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    Software für Mobile Applikationen
    
				
    
					
    Intelligente, Semi SECS-konforme Software-Pakete.
    
					
				
    
				
			
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    Engineering & Customer Service
    
				
    
					
    Wir bieten individuelle, applikationsspezifische L?sungen und weitere Informationen für Ihre Anforderungen.
    
					
				
    
				
			
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    Weltweite KUKA TechCenter mit globalen Standards
    
				
    
					
    An verschiedenen Standorten u.a. in China stehen KUKA TechCenter als Testlabore für Kunden bereit.
    
					
				
    
				
			
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Von Kopf bis Fu? auf Reinraum eingestellt: Roboter für Halbleiter und mobile Cobots von KUKA.

	
	





    
    
	
 Pr?zise und schnelle Roboter mit gro?er Reinraumklasse:
Mehr Sicherheit durch zus?tzliche Zertifizierung vom Fraunhofer-Institut. 

	
	

		

			

				
Bereits bei der Entwicklung unserer Roboter flie?en reinraum-relevante Kriterien mit ein. So sind bereits unsere Standard-Roboter mit hoher ISO-Klasse für viele Reinraum-Applikationen geeignet.


Sie haben leicht zu reinigende Spezialoberfl?chen sowie spezielle Grundierungen, Dichtungen, und Lackierungen in jeder Achse. Sie sind standardm??ig ESD-tauglich und vom Fraunhofer IPA auf ihre Reinraumtauglichkeit geprüft.

			

		

		

			
				
					
					
					
					
					
				
			
			
			

				
					Reinräume sind für die Silicium-Wafer-Platten Herstellung essentiell
				
			

			
		

	





	
	


	

		

			
			
			
		

	






	

		
		

			

				Das Fraunhofer IPA gehört zu den weltweit führenden Instituten im Bereich Reinstproduktion und Kontaminationskontrolle. Seit über 18 Jahren arbeiten wir eng mit KUKA zusammen. Zum einen im Rahmen der Reinraumzertifizierung Fraunhofer Tested Device® und CSM®, und zum anderen bei der reinheitstechnischen Gestaltung von Robotern. 
			

			
			

				Dr. Frank Bürger, Fraunhofer IPA
			

			
		

	








    
    
	
 Finden Sie die reinraumtaugliche Kinematik passend für Ihre Aufgabe: 

	
	








    
    
    
    
	
 Mobile Cobots für Reinr?ume:
Sicheres Handling von sensiblen Bauteilen wie Wafern.

	
	
Die industrielle Fertigung von morgen benötigt intelligent vernetzte, modulare,
vielseitige und damit auch mobile Produktions- und Logistikkonzepte. 

Mobile Reinraum-Cobots (KMR iiwa) garantieren den sicheren Transport und die sichere Handhabung der sensiblen Bauteile (Wafer, Masken, Carrier) von einem Prozess zum nächsten. Sie navigieren autonom und ohne Schutzzaun in alle Richtungen.





	
	
	
	
	
	
	

	

	
	

		

			
Produktivitätssteigerung für die Halbleiterfertigung

		

	

	

	

		
		

			
			
			


	
	
		
    
    


	
	

	

		
	





			
			

			
			

				

					KUKA mobiler Reinraum-Cobot ermöglicht eine schonende und sichere Handhabung von Wafern mit extremer Genauigkeit,  Sensitivität und ohne Ladeunterbrechungen.
				

			

			
		

	







	
	
	
	
	
	

	
	
	

	
	
KUKA TechCenter Testlabore: Vom ma?geschneiderten Test zur integrierbaren Komplettl?sungen im Bereich Mobility

	

	

		

			
			

				Für unsere Kunden führen wir in internationalen Testlaboren umfassende, maßgeschneiderte Tests für die Halbleiterfertigung oder Elektronikindustrie durch. Je nach Projekt, Applikation und Bedarf bieten wir Machbarkeitsstudien, Schnittstellen-Tests und 24-Stunden-Testläufe bis hin zur fertigen Lösung.


			

			

			

				
				
				


	
	
		
    
    


	
	

	

		
	





				
				

				
			

		

	





	

	

		
		

			
Individuelle L?sung gewünscht?

			
Mit unserer Kompetenz und Erfahrung beraten wir Sie gerne und finden mit Ihnen die perfekte L?sung für Ihre individuellen Anforderungen.


			
			

				
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Fallbeispiele aus der Elektronikindustrie

	
	
Lesen Sie in unseren Case Studies mehr über die Vorteile von KUKA Robotik für die Halbleiterindustrie oder stöbern Sie in unserer Lösungsdatenbank zur Elektronikbranche.






	
	
	

	

		
		

			
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