未來の高度自動化半導(dǎo)體製造工場ウルトラクリーン製造環(huán)境の人とロボット

手術(shù)室よりもクリーンな、Infineon社カテゴリー１までのクリーンルーム環(huán)境における半導(dǎo)體チップ大量生産