半導(dǎo)體設(shè)備商 | 半導(dǎo)體製程 | 半導(dǎo)體自動(dòng)化

KUKA 開發(fā)用於半導(dǎo)體製程的移動(dòng)機(jī)器人｜半導(dǎo)體設(shè)備｜半導(dǎo)體自動(dòng)化

半導(dǎo)體的生產(chǎn)非常複雜。在此之前，還未出現(xiàn)過可以將工件從一道工序運(yùn)送到下一道工序的移動(dòng)式半導(dǎo)體自動(dòng)化生產(chǎn)方式。現(xiàn)在，有了 KUKA 晶片搬運(yùn)解決方案，一切都將發(fā)生改變。

2019年8月13日

半導(dǎo)體隨處可見

微型智慧電腦晶片，即所謂的半導(dǎo)體，如今在日常生活中隨處可見：不管是在智慧手機(jī)、平板電腦還是汽車中。在汽車行業(yè)的大趨勢(shì)下，該元件至關(guān)重要。生產(chǎn)半導(dǎo)體時(shí)是以晶片形式加工化學(xué)元素矽。在生產(chǎn)過程中，將晶片在淨(jìng)室條件下存放在專用的塑膠盒內(nèi)，並分多道工序進(jìn)行處理。隨著對(duì)半導(dǎo)體需求的不斷增長(zhǎng)，製造商也希望進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程的自動(dòng)化。

自動(dòng)化搬運(yùn)晶片：KUKA 晶片搬運(yùn)解決方案

KUKA 開發(fā)的 KUKA 晶片搬運(yùn)解決方案是世界上首個(gè)可用於自動(dòng)運(yùn)輸和搬運(yùn)半導(dǎo)體盒的一站式解決方案。該應(yīng)用由一臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)化的自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)輸車 (AGV) 和經(jīng)過實(shí)踐檢驗(yàn)的?LBR iiwa 輕型機(jī)器人組成。為此開發(fā)了一套精密的抓手系統(tǒng)。軟體也由 KUKA 提供。

用於半導(dǎo)體工業(yè)的移動(dòng)機(jī)器人解決方案可自主移動(dòng)。

適用於半導(dǎo)體工業(yè)淨(jìng)室環(huán)境下的機(jī)器人解決方案

KMR 200 CR 移動(dòng)平臺(tái)確保移動(dòng)性。該平臺(tái)的麥克納姆輪可朝各個(gè)方向全向行駛。平臺(tái)上的感測(cè)器即時(shí)監(jiān)測(cè)周圍環(huán)境，以免發(fā)生碰撞。具有人機(jī)協(xié)作能力的 LBR iiwa 安裝在平臺(tái)上。機(jī)器人的高靈敏度有助於安全無振動(dòng)地搬運(yùn)敏感的晶片盒。該應(yīng)用的第三個(gè)部件是量身打造的抓手。抓手系統(tǒng)為 KUKA 專利。

KUKA 淨(jìng)室應(yīng)用可靠實(shí)現(xiàn)晶片搬運(yùn)自動(dòng)化。

軟體控制移動(dòng)機(jī)器人車隊(duì)

在用於晶片搬運(yùn)的淨(jìng)室應(yīng)用中，硬體和軟體均來自 KUKA。晶片搬運(yùn)軟體解決方案可無縫整合到半導(dǎo)體製造商的製造執(zhí)行系統(tǒng)中。整合在軟體中的車隊(duì)管理器負(fù)責(zé)管控運(yùn)輸任務(wù)，以此確保理想的半導(dǎo)體自動(dòng)化生產(chǎn)。所有解決方案均由 KUKA 提供並經(jīng)過認(rèn)證。由此可以大幅縮短調(diào)試時(shí)間，從而使該系統(tǒng)成為市場(chǎng)上最為靈活的搬運(yùn)系統(tǒng)。