KUKA 研發(fā)的 KUKA 晶片搬運(yùn)解決方案是世界上首個(gè)可用于自動(dòng)運(yùn)輸和搬運(yùn)半導(dǎo)體盒的一站式解決方案。該應(yīng)用由一臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)化的自動(dòng)導(dǎo)引運(yùn)輸車 (AGV) 和經(jīng)過實(shí)踐檢驗(yàn)的?LBR iiwa 輕型機(jī)器人組成。為此開發(fā)了一套精密的抓手系統(tǒng)。軟件也由 KUKA 提供。
用于半導(dǎo)體工業(yè)的移動(dòng)機(jī)器人解決方案可自主移動(dòng)。
適用于半導(dǎo)體工業(yè)凈室環(huán)境下的機(jī)器人解決方案
KMR 200 CR 移動(dòng)平臺(tái)確保移動(dòng)性。該平臺(tái)的麥克納姆輪可朝各個(gè)方向全向行駛。平臺(tái)上的傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)周圍環(huán)境,以免發(fā)生碰撞。具有人機(jī)協(xié)作能力的 LBR iiwa 安裝在平臺(tái)上。機(jī)器人的高靈敏度有助于安全無振動(dòng)地搬運(yùn)敏感的晶片盒。該應(yīng)用的第三個(gè)部件是量身定制的抓手。抓手系統(tǒng)為 KUKA 專利。
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KUKA 凈室應(yīng)用可靠實(shí)現(xiàn)晶片搬運(yùn)自動(dòng)化。
軟件控制移動(dòng)機(jī)器人車隊(duì)
在用于晶片搬運(yùn)的凈室應(yīng)用中,硬件和軟件均來自 KUKA。晶片搬運(yùn)軟件解決方案可無縫整合到半導(dǎo)體制造商的制造執(zhí)行系統(tǒng)中。集成在軟件中的車隊(duì)管理器負(fù)責(zé)管控運(yùn)輸任務(wù),以此確保理想的半導(dǎo)體自動(dòng)化生產(chǎn)。所有解決方案均由 KUKA 提供并經(jīng)過認(rèn)證。由此可以大幅縮短調(diào)試時(shí)間,從而使該系統(tǒng)成為市場(chǎng)上最為靈活的搬運(yùn)系統(tǒng)之一。