17 臺靈敏的晶片搬運機器人為 KUKA 的客戶英飛凌確保了效率和安全
硅晶片并不是真正的協作產品:許多硅晶片的厚度在 40 微米以內,比頭發絲還細,而直徑卻在 150 到 300 毫米之間,相當于一個披薩餅的尺寸。這是一種相對易碎的材料,操作人員無法也不愿意將它拿在手上。為了使這些每盒總價值可能相當于一輛中檔汽車的敏感硅晶片變成芯片,它們需要在生產過程中經過高達 1200 個流程步驟,并且每次都要將它們運輸到另一個自動化加工站。很明顯這正是 LBR iiwa CR 等機器人大顯身手的機會。英飛凌的生產基地位于奧地利的菲拉赫,負責生產用于汽車、智能手機、冰箱或服務器農場以及機車驅動單元等的功率半導體。
與系統合作伙伴攜手共進,促成解決方案
“在尋找解決方案的過程中,我們注意到了 KUKA 協作機器人。”研發工程師說道。使這些機器人根據 ISO3 適應潔凈室內特殊的晶片搬運要求,是一個深入的學習過程,參與其中的英飛凌自動化專家與他們的系統合作伙伴一起攜手合作。除了 KUKA 以外,這些合作伙伴主要有負責生產中組裝、布線和施工的
Mechatronic Systemtechnik GmbH 專家以及負責設備控制系統的
Micado Automation GmbH 編程人員。
“當時我們還沒有關于晶片生產機器人的藍圖。我們共同根據自身的需求量身打造了這些系統。對我們來說,和 KUKA 一樣,這些都是實實在在的開創性工作?!盡oser 講述道。這包括了使輕型機器人具備適應潔凈室的能力。這對 KUKA 機器人來說也是陌生的“新大陸”。
“所有參與方做出了富有建設性、以解決方案為導向的共同努力,對我們目前的自動化芯片生產的理想運輸方案發揮了更大的推動作用。”Moser 如此說道。
在生產微芯片的可行性和必要性之間取得正確的平衡
在 Martin Moser 的團隊中,Lisa Ebner 從一開始就參與了將機器人集成到硅晶片的自動化生產流程中。Lisa Ebner 是凈室機器人的忠實粉絲:“當我第一次見到 LBR iiwa CR 機器人,我就完完全全被吸引住了:我可能花了數小時觀看機器人柔和流暢的運動過程。”這位自動化專家在生產通道上來回研究,在控制臺上檢查系統并且探尋進一步的方法來完善生產過程。“進行優化時,我們必須在技術物理上的可行性和生產目的的合理性之間找到適當的平衡。我們必須始終找到適合經濟生產的方案?!?/b>
半導體制造前景的學習進展
“我們現在學到的一切,將使我們走得更遠,并將半導體制造的自動化推向更高水平?!蔽挥诜评盏?Infineon Austria 公司的生產主管 Bernd Steiner 說道。這家企業為菲拉赫的生產基地投資 16 億歐元。2021 年年底,這里的功率半導體將實現全自動化生產。“我們的目標是智能工廠將產能精準地投入在所需之處?!盨teiner 講解道。